磁力傳動式真空動密封在真空應(yīng)用設(shè)備上的應(yīng)用實例
、 在各種真空鍍膜設(shè)備上用來傳遞鍍膜工件及保證膜厚均勻,而要求旋轉(zhuǎn)的工件架、軸的動力輸入等許多方面都采用磁力傳動密封裝置,不但消除了O 形密封圈易泄漏、磨損和污染真空等弊病,而且也提高了鍍膜層的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
、 我國的重離子加速器上采用了磁力傳動裝置,在真空室中傳送試驗靶,安全可靠,保證了試驗效果,提高了試驗質(zhì)量和效率。
、 在一些高真空及超高真空的設(shè)備上廣泛采用了磁力傳動技術(shù)。比如航天技術(shù)地面模擬試驗的各種真空容器與裝置上所采用的磁力傳動裝置,操作簡單可靠,而且也保證了高真空或超高真空狀態(tài)下的各種環(huán)境試驗。
、 在一些真空工藝設(shè)備上采用了磁力傳動裝置。作為機械手在真空室中傳遞工件、旋轉(zhuǎn)工件等。如真空熔煉爐中用磁力驅(qū)動裝置取代了送料機構(gòu)的取料機構(gòu);真空熱處理爐中用磁力傳動裝置取代了送樣機構(gòu)和取樣機構(gòu);真空焊接爐中用磁力傳動裝置準(zhǔn)確地傳送構(gòu)件和取送焊接件等。
、 一些專用的真空試驗設(shè)備中也均采用了磁力傳動技術(shù)。比如航空、航天技術(shù)設(shè)備中用精密軸承、微型軸承在高真空狀態(tài)下的壽命試驗;一些重要儀器、儀表在高真空狀態(tài)下的測試實驗等。這類專用真空設(shè)備要求連續(xù)運動的時間長,保證高真空狀態(tài)下工作。因此傳送機構(gòu)及機械手均采用了磁力傳動裝置,運動安全可靠,滿足了技術(shù)要求。
、 磁力傳動裝置在一些特殊真空設(shè)備上的應(yīng)用。我國第一臺分子束外延設(shè)備上采用了旋轉(zhuǎn)與直線運動的復(fù)合運動式磁力傳動裝置。作為機械手在真空室中傳送樣品,操作簡便、結(jié)構(gòu)合理、緊湊、運動安全可靠。設(shè)備采用真空無油機組,極限真空度達(dá)到6×10-7 Pa 工作真空度達(dá)到5×10-6 Pa 樣品可進(jìn)行150℃烘烤。我國生產(chǎn)的獨立束源,快速換片型分子束外延設(shè)備上采用了旋轉(zhuǎn)與直線運動的復(fù)合運動磁力驅(qū)動裝置。磁力傳動裝置與全金屬直通閥,組成一套超高真空室,同樣從高真空室中取出樣品或工件,并且在運作的過程中完成裝卡工件的動作。整個過程中運行安全可靠,提高工作效率近10 倍。工作室的真空度為10-6 Pa~10-7 Pa。真空室內(nèi)樣品的烘烤溫度為150℃。
這里僅舉幾個應(yīng)用實例,實際上無泄漏磁力傳動真空動密封的應(yīng)用前景還會更加廣闊。
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