再生的起始條件因低溫泵應用場合而異，對連續(xù)抽氣過程來說，一般只要滿足下面兩個條件中的一個，低溫泵就需要再生：

　�。�1）低溫泵在無其他附加熱負荷時，二級冷頭溫度超過20 K 或一級冷頭溫度超過130 K；

　�。�2）高真空閥門關閉5 min后泵內壓力在1×10^-4 Pa 以上。

　　而對一些間斷抽氣過程來說，由于高真空閥門開啟時，冷頭溫度必定會產生波動而且冷頭溫度的恢復時間與預吸附的氣體量、低溫泵的最大吸入氣體量等有密切關系，因此在這些情況下還需要根據(jù)實際情況下允許的波動時間確定再生條件。

　　對非自動控制的低溫泵抽氣系統(tǒng)來說，一般，低溫泵的生產商會提供一個再生的參考時間，但由于實際情況的差異，還是要求操作者根據(jù)實際經(jīng)驗來判斷是否可以結束再生，而一些自動化程度較高的低溫泵系統(tǒng)可以自動進行判斷。

　　一般是在再生進行到某一階段后，將低溫泵粗抽到某一合適的壓力值，關閉粗抽閥，測量壓力上升的速率并與控制器內存儲的經(jīng)驗值進行對比，如果不滿足條件，則需要繼續(xù)對低溫泵進行加熱。這一過程也可以采用一定時間之后的壓力值來判斷�？紤]到真空狀態(tài)下對放氣測量的精度要求和時間較短的要求，在1 Pa 左右進行測試是比較合適的。對采用加熱帶加熱的再生方式，由于對泵抽空后的加熱效果不佳，因此進行判斷的開始時間，兩次判斷的間隔時間需要根據(jù)實際情況進行確定，采用泵內加熱板加熱再生時無需考慮這兩個問題。